Российские ученые открыли новый способ нанесения на стекло различных структур размером менее 100 нанометров. Как сообщили в пресс-службе МФТИ, такой способ будет востребован при производстве сенсоров и микросхем.
В совместном исследовании процесса гравировки боросиликатного стекла специалисты из МФТИ, ИХФ им. Семенова, МГУ и ИПХФ использовали фемтосекундный лазер. Данный тип лазера генерирует импульсы ультракороткого излучения, что позволяет применять его в областях, где требуется высокая точность, например, в микроэлектронике для создания микросхем. Обычно лазер фокусируют с помощью металлических наночастиц или слоя диэлектрических микросфер. Недостатком такого подхода является неподвижность линз. Чтобы обойти это препятствие, ученые придумали создать своеобразную ловушку пучком света в жидкости. Пучок света вместе с ловушкой можно двигать и фокусировать лазер в конкретном месте. После работы лазера поверхность стекла обрабатывали горячей щелочью, чтобы сгладить лишние неровности. Таким образом, в ходе эксперимента на стекле удалось получить структуры до 70 нанометров.
По мнению ученых, новый способ наногравировки пригодится в микрофлюидике — перспективной технологии создания микросхем, где в качестве рабочего вещества используется жидкость, кроме того он отличается дешевизной и простотой использования.
Российские ученые открыли новый способ нанесения на стекло различных структур размером менее 100 нанометров. Как сообщили в пресс-службе МФТИ, такой способ будет востребован при производстве сенсоров и микросхем.
В совместном исследовании процесса гравировки боросиликатного стекла специалисты из МФТИ, ИХФ им. Семенова, МГУ и ИПХФ использовали фемтосекундный лазер. Данный тип лазера генерирует импульсы ультракороткого излучения, что позволяет применять его в областях, где требуется высокая точность, например, в микроэлектронике для создания микросхем. Обычно лазер фокусируют с помощью металлических наночастиц или слоя диэлектрических микросфер. Недостатком такого подхода является неподвижность линз. Чтобы обойти это препятствие, ученые придумали создать своеобразную ловушку пучком света в жидкости. Пучок света вместе с ловушкой можно двигать и фокусировать лазер в конкретном месте. После работы лазера поверхность стекла обрабатывали горячей щелочью, чтобы сгладить лишние неровности. Таким образом, в ходе эксперимента на стекле удалось получить структуры до 70 нанометров.
По мнению ученых, новый способ наногравировки пригодится в микрофлюидике — перспективной технологии создания микросхем, где в качестве рабочего вещества используется жидкость, кроме того он отличается дешевизной и простотой использования.